第1609章 这位常院士未免太过激进了 (第2/2页)

“那我们就开始？您这边的新理念，或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。”
　　
　　ArF-1800项目是长光的心血，对标的是ASML的NXT:2000i系列，属于当前DUV体系下的最顶级产品。
　　
　　他也很想看看，对方能拿出什么新的理念来交流。
　　
　　然而，常浩南却轻轻摆了摆手，示意那位助手先别动：
　　
　　“张研究员，先不急着看资料。”
　　
　　这个态度，让另外二人有些愕然。
　　
　　“火炬实验室的新理念，是完全……颠覆性的。”常浩南解释道，“现有设计方案本身的参考价值恐怕有限，关键在于思路，包括折反式系统的设计方法，还有一些关键过程和数据。”
　　
　　张汝宁脸上的笑容微微一滞，眼底掠过一丝难以察觉的讶异和……不服气。
　　
　　参考价值有限？
　　
　　他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案！
　　
　　这位常院士的口气，未免太大了些。
　　
　　不过，他倒也不至于表露出来，只是点了点头：“那我们就客随主便听常院士您安排就是。”
　　
　　常浩南也看出了对方的小情绪，但只是起身，做了个请的手势：
　　
　　“二位跟我来。”
　　
　　张汝宁和吴明翰对视一眼，都看到了对方眼中的疑惑。
　　
　　对方强调两个人，那意思当然是不能带随行人员。
　　
　　好在这是国内，倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。
　　
　　于是两人将随行人员留在会议室，只身跟随常浩南，深入到了火炬实验室的地下测试中心。
　　
　　刚一踏进测试大厅，张汝宁的目光就被吸引住了。
　　
　　“这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪？精度能达到亚微米级了！”
　　
　　他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备，如同看到稀世珍宝。
　　
　　如果不是有一层窗户挡着，怕是要上手摸一摸。
　　
　　“还有这台，同步辐射光源的小角散射装置……”
　　
　　“TalysurfPRO+表面轮廓仪……”
　　
　　“……”
　　
　　张汝宁的语气充满惊叹。
　　
　　“这些设备的投入，简直难以想象！”
　　
　　他本人的课题组建立较早，不少设备已经并非最新型号。
　　
　　而长光集团毕竟是个企业，要考虑投入产出比的问题，不可能无限制地追逐新款。
　　
　　常浩南微微一笑，并未在此多作停留。
　　
　　“张研究员见多识广。不过，今天的重点不是这些。”
　　
　　他引着二人，径直走向测试中心一个相对僻静的角落。
　　
　　那里摆放着一台看起来相当“朴素”的光路演示仪。
　　
　　仪器主体就是一个带有精密位移台的黑色光学平台，上面固定着光源、几个调整架和一个观察端口。
　　
　　平台旁边连接着控制电脑和显示器。
　　
　　但此时正关着机。
　　
　　栗亚波早已在此等候。
　　
　　张汝宁快走几步，饶有兴致地凑近光路仪。
　　
　　他本以为会看到一组结构复杂、镜片林立的实验性物镜原型。
　　
　　然而，当他来到跟前时，却发现光学平台中央的调整架上，只固定着孤零零的一个光学元件。
　　
　　一片厚度大约几个毫米的、长方形的……
　　
　　镜片？
　　
　　它被小心翼翼地夹持在一个特制的夹具中，表面平整如新。
　　
　　但无论怎么看，这都只是一片平面镜而已。
　　
　　“常院士，这是……”张汝宁疑惑地看向常浩南，又看看同样一脸茫然的吴明翰。
　　
　　他完全无法理解，这片看似普通的平面镜，如何能与“颠覆性”的光刻物镜设计理念联系起来。
　　
　　常浩南没有直接解释，只是对栗亚波点了点头：“亚波，开始吧。”
　　
　　“是，老师。”
　　
　　栗亚波早已做好设置，此时只需要按动一下启动按键即可。
　　
　　嗡的一声轻响，一道稳定而纤细的绿色激光束亮起
　　
　　与此同时，光路仪四周厚重的遮光罩缓缓升起、闭合，将整个平台笼罩在黑暗之中。
　　
　　只有控制面板上几个微弱的指示灯亮着。
　　
　　几秒钟后，栗亚波轻轻点头，让出了观察口的位置，示意准备就绪。
　　
　　这个速度，快到如同儿戏。
　　
　　吴明翰好奇心更重，率先将额头贴上观察口的目镜。
　　
　　然后……
　　
　　安静。
　　
　　沉默。
　　
　　直到几秒钟后。
　　
　　“嘶——！”
　　
　　一声极度压抑却又充满难以置信的抽气声，猛地从吴明翰喉咙里发出！
　　
　　他整个人如同被电流击中，身体瞬间绷直，贴在目镜上的额头甚至微微后仰了一下，嘴巴张得老大。
　　
　　仿佛看到了最不可思议的魔法！